Imec突破性EUV光刻技术推动生物传感器大规模应用

比利时鲁汶，2025年12月10日——Imec宣布成功在300毫米晶圆上采用极紫外光刻（EUV）技术制造晶圆级固态纳米孔，这一突破性技术将生命科学和医疗保健领域的生物传感器应用推向可扩展、高精度的新高度。

这一创新代表着纳米孔技术从实验室概念向可扩展平台的转变，适用于生物传感、基因组学和蛋白质组学等领域。纳米孔技术长期以来被誉为基因组学和蛋白质组学的变革者，但由于固态纳米孔在变异性和集成方面的挑战，一直未能实现大规模生产。

突破性的制造工艺

Imec的最新突破为高通量、兼容CMOS的生物传感器阵列铺平了道路，预计将推动个性化医疗、快速诊断和分子数据存储的发展。通过EUV光刻技术，Imec在300毫米晶圆上实现了晶圆级制造，制备出尺寸小至约10纳米的纳米孔，并在整个晶圆上保持高度均匀性。

这种制造工艺有潜力实现小于5纳米的孔径，随着工艺集成技术的进一步改进，未来有望取得更大突破。电气和生物分子易位表征显示其信噪比高达6.2。

“Imec具有实现这一飞跃的独特优势。我们可将传统上用于存储和逻辑领域的EUV光刻技术应用于生命科学领域。利用我们的光刻基础设施，我们已证明能以分子传感所需的精度大规模制造固态纳米孔，”Imec的第一作者及研发项目经理Ashesh Ray Chaudhuri表示。

推动医疗保健创新

Imec的这一创新为医疗保健及其他领域的高通量生物传感器阵列创造了可能。个性化医疗的需求日益增长，而快速诊断和分子数据存储的能力将极大地影响未来的医疗服务模式。

Imec的技术突破不仅在医疗领域具有重要意义，还可能在计算机、汽车、能源等多个行业带来变革。通过IC-Link平台，Imec为企业提供从初始概念到大规模量产的芯片研发全流程指导，打造定制化解决方案，以满足最前沿的设计与生产需求。

关于Imec

Imec是全球领先的先进半导体技术研究和创新中心，利用其一流的研发基础设施和6,500多名员工的专业知识，推动半导体和系统扩展、人工智能、硅光子学、连接和传感领域的创新。Imec与全球半导体价值链的领先企业以及佛兰德斯地区和全球的科技企业、初创企业、学术界和研究机构开展合作。

Imec总部位于比利时鲁汶，在比利时、欧洲各地和美国设有研究设施，并在三大洲设有代表处。2024年，Imec报告营收10.34亿欧元。

如需了解更多信息，请访问 www.imec-int.com